南京埃米儀器科技有限公司（下簡(jiǎn)稱：埃米儀器）完成數(shù)千萬(wàn)元Pre-A輪融資，博將資本領(lǐng)投。本輪融資將用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的高精密量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類(lèi)，加大市場(chǎng)開(kāi)拓力度能力。 埃米儀器成立于2022年，公司成立以來(lái)一直引領(lǐng)國(guó)內(nèi)高精密 3D 量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，攻克核心技術(shù)。產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級(jí)三維結(jié)構(gòu)的高精密高速量/檢測(cè)裝備。產(chǎn)品主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測(cè)和缺陷檢測(cè)，解決相關(guān)領(lǐng)域的卡脖子技術(shù)。 截止目前，埃米儀器已推出在線工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡量測(cè)設(shè)備APEX-X1（全自動(dòng)機(jī)臺(tái)）、科研級(jí)原子力顯微鏡量測(cè)設(shè)備APEX-1000 （半自動(dòng)機(jī)臺(tái)）、高速光學(xué)掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。未來(lái)將持續(xù)推出混合量測(cè)設(shè)備、高通量原子力顯微鏡等設(shè)備。其在線工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡APEX-X1已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。 博將資本該項(xiàng)目投資負(fù)責(zé)人陸元昊表示，量測(cè)設(shè)備未來(lái)將與光刻設(shè)備并行發(fā)展，發(fā)揮至關(guān)重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測(cè)設(shè)備，在先進(jìn)制程中正在成為量檢測(cè)主力設(shè)備。埃米儀器僅成立2年時(shí)間便成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)在線工業(yè)級(jí)原子力顯微鏡并已實(shí)現(xiàn)在某頭部芯片客戶交付。同時(shí)，公司通過(guò)推動(dòng)高通量AFM、混合量測(cè)等方式彌補(bǔ)傳統(tǒng)AFM機(jī)臺(tái)在量檢測(cè)速度的限制，將大大拓寬傳統(tǒng)原子力顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域。我們堅(jiān)定看好公司的發(fā)展，未來(lái)也將在多方面持續(xù)支持公司。 關(guān)于南京埃米儀器科技有限公司 南京埃米儀器科技有限公司是一家致力于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測(cè)設(shè)備的技術(shù)企業(yè)。公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦芯片制造過(guò)程中晶圓表面粗糙度、CMP 輪廓、光刻及刻蝕中的三維結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵指標(biāo)的在線檢測(cè)和量測(cè)，助力客戶大幅提高產(chǎn)品的良率、縮短工藝的研發(fā)進(jìn)程。
