近日，蘇州博眾儀器科技有限公司（簡稱博眾儀器）宣布了一項重大關(guān)鍵技術(shù)突破，成功研發(fā)出熱場發(fā)射電子源。該產(chǎn)品可以用于電子顯微設(shè)備和電子束光刻設(shè)備等領(lǐng)域，標(biāo)志著中國在熱場發(fā)射電子源方面實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化替代，為高端電子顯微技術(shù)自主化進(jìn)程提供了強(qiáng)大助力。同時，其作為電子束的共性基礎(chǔ)元件，也將對發(fā)展電子束相關(guān)設(shè)備，如發(fā)展電子束光刻機(jī)等設(shè)備奠定堅實(shí)基礎(chǔ)。目前，該產(chǎn)品已取得相關(guān)發(fā)明專利。
該產(chǎn)品針尖曲率半徑可精準(zhǔn)控制在400～900nm之間，角電流密度達(dá)200～500uA/Sr，在200kV高壓下，其亮度可達(dá)6.5x10^8～1.5x10^9A/(c㎡ ·Sr)，在1700～1850K的溫度環(huán)境下穩(wěn)定工作，不僅性能媲美國際頂尖產(chǎn)品，更在性價比上展現(xiàn)出巨大優(yōu)勢。目前，該產(chǎn)品已作為成熟產(chǎn)品對外銷售并可提供定制化服務(wù)。
當(dāng)前，電子顯微鏡市場尤其在高端掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等領(lǐng)域一直被美國的賽默飛、日本的日本電子和日立等企業(yè)所壟斷，國內(nèi)企業(yè)面臨技術(shù)封鎖和市場擠壓的雙重挑戰(zhàn)。而電子源作為電子顯微鏡的核心部件，其技術(shù)門檻高、研制難度大，一直是國產(chǎn)電子顯微鏡發(fā)展的瓶頸之一。
在各類電子源中，熱場發(fā)射電子源是應(yīng)用最廣的一類電子源，其亮度比鎢燈絲高約1000倍，比LaB6燈絲高約100倍，而且具有更小的能量分散和更小的光斑直徑，因此非常合適用于電子顯微設(shè)備和電子束光刻設(shè)備等。但當(dāng)前只有賽默飛、日本電子、日立、DENKA和YPS等國外公司有成熟的產(chǎn)品，國內(nèi)企業(yè)始終面臨著采購周期長、成本高、不能自主可控的困境。
博眾儀器自成立以來，始終秉持著自主可控的經(jīng)營理念，專注基于電子束的高端裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主營透射電子顯微鏡及其核心部件，如：肖特基電子源、超高穩(wěn)定電源（包括高壓電源和恒流電源）、高精度控溫水冷機(jī)等產(chǎn)品，并提供電子槍、高壓電源、磁透鏡等整體解決方案。而熱場發(fā)射電子源作為透射電鏡的核心部件，自公司成立之初便開始研制。團(tuán)隊歷時3年多的不懈努力，終于突破關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)，研制出性能穩(wěn)定、性價比更高的熱場發(fā)射電子源。
接下來，博眾儀器也會陸續(xù)推出，應(yīng)用于高端儀器設(shè)備領(lǐng)域的超高穩(wěn)定電源等核心產(chǎn)品，持續(xù)為高端儀器設(shè)備行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
