2022年7月7日,中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)前往會(huì)員單位聚束科技(北京)有限公司走訪交流。
考察團(tuán)專(zhuān)家在聚束科技總經(jīng)理李帥的帶領(lǐng)下參觀了公司的辦公場(chǎng)所及生產(chǎn)車(chē)間,并與相關(guān)人員圍繞榮獲“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎(jiǎng)”的高通量(場(chǎng)發(fā)射)掃描電鏡NavigatorSEM-100的產(chǎn)品特點(diǎn)、功能、理念及設(shè)計(jì)初衷進(jìn)行了溝通交流。
聚束科技位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),在寧波、新加坡同時(shí)設(shè)有研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)中心,專(zhuān)注于高通量掃描電鏡的研發(fā)。其自主研發(fā)的高通量(場(chǎng)發(fā)射)掃描電鏡二次電子和背散射電子可雙通道同步成像,成像速度在同等條件下是同類(lèi)機(jī)型的5倍以上。今年剛推出新機(jī)型高通量(場(chǎng)發(fā)射)掃描電子顯微鏡NavigatorSEM-100+ ,配備新型電子槍?zhuān)娮邮潼c(diǎn)能量范圍可達(dá)30keV,涵蓋絕大多數(shù)掃描電鏡落點(diǎn)能量需求范圍,分辨率可達(dá)1.0nm (15keV下),較大的提高了產(chǎn)品分辨率。且新機(jī)型在保證1-3kV低加速電壓下可獲得1.5nm高分辨率的同時(shí),仍能保持1‰以下的低圖像畸變。
考察組專(zhuān)家在走訪中獲悉,目前,聚束科技高通量(場(chǎng)發(fā)射)掃描電鏡已有一定的裝機(jī)量,客戶(hù)分布在半導(dǎo)體、生命科學(xué)、地質(zhì)油氣、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域,未來(lái)有望能開(kāi)發(fā)拓展更多新的應(yīng)用領(lǐng)域。
本次走訪是時(shí)隔一年再次到訪聚束科技,目的在于跟蹤聚束科技的“朱良漪獎(jiǎng)”獲獎(jiǎng)成果的后續(xù)技術(shù)升級(jí)情況和銷(xiāo)售情況,也是了解聚束科技的發(fā)展需求,以便提供更貼切的服務(wù)。