近日，安徽省發(fā)布2022年“揭榜掛帥”榜單任務(wù)。 該榜單圍繞新型激光晶圓切割技術(shù)研發(fā)、大面積動(dòng)態(tài)X射線成像傳感器研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、商業(yè)航天星座集群跨域協(xié)同關(guān)鍵技術(shù)研究與驗(yàn)證、面向新一代超聲診療的高性能MEMS換能器芯片關(guān)鍵技術(shù)研究、大型盾構(gòu)超高性能滾刀和常壓換刀設(shè)備研制及應(yīng)用、國(guó)產(chǎn)化大飛機(jī)復(fù)雜型腔薄壁機(jī)匣的技術(shù)攻關(guān)、屏蔽X射線與伽瑪射線及混合場(chǎng)輻射的亞克力板材制備關(guān)鍵技術(shù)等方面進(jìn)行支持。
對(duì)成功揭榜并立項(xiàng)的項(xiàng)目，由安徽省財(cái)政采取無償資助方式，給予發(fā)榜方最高1000萬元/項(xiàng)配套支持；對(duì)符合《支持科技創(chuàng)新若干政策》（皖政〔2017〕52號(hào)）規(guī)定加大支持的相關(guān)區(qū)域項(xiàng)目，支持資金上浮20%。
其中，大面積動(dòng)態(tài)X射線成像傳感器研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的需求目標(biāo)是利用發(fā)榜方高性能金屬氧化薄膜晶體管半導(dǎo)體器件研發(fā)制造平臺(tái)，研發(fā)設(shè)計(jì)大面積動(dòng)態(tài)X射線成像傳感器，建立全套工藝流程，確定完整制程條件，確保該平臺(tái)后續(xù)能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定生產(chǎn)，且制造成本與非晶硅薄膜晶體管技術(shù)條件下的制造成本基本保持一致。
成果形式：產(chǎn)出基于碘化銫閃爍體以及金屬氧化物薄膜晶體管光學(xué)傳感基板技術(shù)的大面積動(dòng)態(tài)X射線成像傳感器。
技術(shù)指標(biāo)：尺寸≥43cm×43cm。其中金屬氧化物薄膜晶體管器件的電子遷移率≥7cm2/（V·s），TFT漏電流≤10e-14A，TFT器件PBTS≤2V、|NBTIS|≤2V，光量子效率≥70%（550nm）；X射線成像傳感器器件空間分辨率≥5lp/mm；實(shí)現(xiàn)大面積動(dòng)態(tài)X射線成像傳感器產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
