“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)2021年度“揭榜掛帥”榜單詳細(xì)內(nèi)容如下：
一、申報(bào)說明
本批榜單圍繞半導(dǎo)體集成電路和光電子集成電路制造、微米納米材料制備及血液分析和細(xì)胞分析等重大應(yīng)用場景，擬解決重點(diǎn)領(lǐng)域高端科學(xué)儀器研發(fā)的關(guān)鍵實(shí)際問題，擬安排國撥經(jīng)費(fèi)不超過4000萬元。每個(gè)榜單任務(wù)擬支持項(xiàng)目數(shù)為1項(xiàng)。項(xiàng)目下設(shè)課題數(shù)不超過5個(gè)，項(xiàng)目參與單位總數(shù)不超過10家。項(xiàng)目設(shè)1名負(fù)責(zé)人，每個(gè)課題設(shè)1名負(fù)責(zé)人。項(xiàng)目配套經(jīng)費(fèi)與國撥經(jīng)費(fèi)比例不低于1:1。
榜單申報(bào)“不設(shè)門檻”，項(xiàng)目牽頭申報(bào)和參與單位無注冊(cè)時(shí)間要求，項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人無年齡、學(xué)歷和職稱要求。申報(bào)團(tuán)隊(duì)數(shù)量不多于擬支持項(xiàng)目數(shù)量的榜單任務(wù)方向，仍按程序進(jìn)行項(xiàng)目評(píng)審立項(xiàng)。明確榜單任務(wù)資助額度，簡化預(yù)算編制，經(jīng)費(fèi)管理探索實(shí)行“負(fù)面清單”。
二、攻關(guān)要求
揭榜立項(xiàng)后，揭榜團(tuán)隊(duì)須簽署“軍令狀”，對(duì)“里程碑”考核要求、經(jīng)費(fèi)撥付方式、獎(jiǎng)懲措施和成果歸屬等進(jìn)行具體約定，并將榜單任務(wù)目標(biāo)擺在突出位置，集中優(yōu)勢資源，全力開展限時(shí)攻關(guān)。項(xiàng)目（課題）負(fù)責(zé)人在揭榜攻關(guān)期間，原則上不得調(diào)離或辭去工作職位。
項(xiàng)目實(shí)施過程中，將最終用戶意見作為重要考量，通過實(shí)地勘察、仿真評(píng)測、應(yīng)用環(huán)境檢測等方式開展“里程碑”考核，并視考核情況分階段撥付經(jīng)費(fèi)，實(shí)施不力的將及時(shí)叫停。項(xiàng)目驗(yàn)收將通過現(xiàn)場驗(yàn)收、用戶和第三方測評(píng)等方式，在真實(shí)應(yīng)用場景下開展，并充分發(fā)揮最終用戶作用，以成敗論英雄。由于主觀不努力等因素導(dǎo)致攻關(guān)失敗的，將按照有關(guān)規(guī)定嚴(yán)肅追責(zé)，并依規(guī)納入誠信記錄。
三、榜單任務(wù)
1. 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡
需求目標(biāo)：針對(duì)集成電路芯片設(shè)計(jì)修正和失效分析、樣品3D重構(gòu)、透射電鏡樣品制備等微納尺度檢測需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)，開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發(fā)相關(guān)軟件，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，實(shí)現(xiàn)在微電子、光電子、微米納米材料等至少2個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。具體需求目標(biāo)如下：
（1）液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV（雙束重合點(diǎn)），能量≥30kV，束流≥65nA。
（2）聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV（雙束重合點(diǎn)），能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，垂直方向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm。
（3）具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力。
（4）具備聚焦離子束加工過程中掃描電子束實(shí)時(shí)觀察能力。
（5）項(xiàng)目完成時(shí)通過可靠性測試和第三方異地測試，平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí)，技術(shù)就緒度不低于8級(jí)。
時(shí)間節(jié)點(diǎn)：研發(fā)時(shí)限為3年，立項(xiàng)18個(gè)月后開展“里程碑”考核。
榜單金額：不超過2000萬元。
考核要求：科研樣機(jī)經(jīng)用戶試用，滿足用戶使用要求；形成批量生產(chǎn)能力，用戶已實(shí)際采購；符合項(xiàng)目任務(wù)書考核要求。
2. 高性能流式細(xì)胞分選儀
需求目標(biāo)：針對(duì)生物工程、生物安全檢測、醫(yī)學(xué)研究等行業(yè)血液和細(xì)胞分析需求，突破細(xì)胞高效檢測、細(xì)胞高效分選、百萬量級(jí)細(xì)胞數(shù)據(jù)處理、智能分析及分選等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的高性能流式細(xì)胞分選儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，實(shí)現(xiàn)在生物工程、生物安全檢測、醫(yī)學(xué)研究等至少2個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。具體需求目標(biāo)如下：
（1）激光器波長數(shù)≥4；激發(fā)熒光波長數(shù)≥30。
（2）熒光檢測靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF。
（3）細(xì)胞檢測和分析速度≥70000細(xì)胞/秒；分選純度≥98%；顆粒檢測范圍0.2~50μm。
（4）項(xiàng)目完成時(shí)通過可靠性測試和第三方異地測試，平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí)，技術(shù)就緒度不低于8級(jí)。
時(shí)間節(jié)點(diǎn)：研發(fā)時(shí)限為3年，立項(xiàng)18個(gè)月后開展“里程碑”考核。
榜單金額：不超過2000萬元。
考核要求：科研樣機(jī)經(jīng)用戶試用，滿足用戶使用要求；形成批量生產(chǎn)能力，用戶已實(shí)際采購；符合項(xiàng)目任務(wù)書考核要求。
